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AVI主動隔振平臺


AVI主動隔振平臺有助于最大限度地提高全世界數(shù)百臺電子顯微鏡和其他高載荷精密研究儀器的空間分辨率。諸如卡爾蔡司顯微鏡公司,FEI公司,DCG系統(tǒng)等設備制造商選擇AVI為其客戶提供最佳解決方案,以在噪聲最大的環(huán)境中實現(xiàn)最高數(shù)據(jù)質量。

AVI的模塊化和易于安裝的設計,可以在亞赫茲隔振性能方面為客戶提供最大的可用性和成本效益。



AVI系列產品是一款模塊化,薄型化的主動隔振平臺,可在六個自由度范圍內實現(xiàn)亞赫茲振動隔離。安裝過程簡便,可節(jié)省實驗場所和安裝成本。產品分三個型號:AVI-200、AVI-400AVI-600

AVI-200有三種標準尺寸可供選擇:AVI-200S,AVI-200MAVI-200XL

AVI-400有三種標準尺寸可供選擇:AVI-400S,AVI-400MAVI-400XL;

AVI-600有三種標準尺寸可供選擇:AVI-600S,AVI-600MAVI-600XL。

 

技術參數(shù)

AVI系列主動減震產品:

1)主動隔振范圍:0.5 Hz-200 Hz;

22.5 Hz95%隔振;

35 Hz99%隔振;

410 Hz99.5%隔振;

5)最大隔振效果在20 Hz99.8%

 

主要特點

1)隔離所有振動:隔離所有六種旋轉和平移振動模式下的振動;

2)業(yè)界領先的低頻隔離:主動隔離1200HzLFS系統(tǒng)為0.5 - 200 Hz);超過200 Hz的無源隔離;

3)主動式>被動式:沒有低頻共振意味著0-5Hz之間的性能比無源系統(tǒng)好得多;

4)最大剛度和穩(wěn)定性:比被動系統(tǒng)硬500倍,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性;

5)可擴展至任何儀器尺寸:模塊式樣允許系統(tǒng)適應特定的尺寸和負載,使其成為各種應用的理想選擇;

6)無縫安裝和使用:小巧的設計使得AVI系列無需升降設備即可安裝。

 

應用領域

使用AVI-200平臺的常見應用包括:

1)原子力顯微鏡;

2)干涉儀;

3)輪廓儀;

4)摩擦學;

5)高精度計量領域。

 

使用AVI-400/600平臺的常見應用包括:

1SEMTEM;

2)超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM);

3)光刻工具;

4)高精度測量工具;

5)光譜儀器。

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